硅红表滤光片旨在降低直拉硅单晶氧含量
，提高硅红表滤光片透过率的硅片热处置工艺。其特点是将硅片在400-1000℃温度间的四段温区逐步升温并保温适其功夫并在硅片冷却至850℃以下时取出
，处置后的直拉硅单晶片在9um处的透过率靠近或达到区熔硅单晶的水平
，用热处置后的廉价直拉硅单晶片造作的红表滤光片
，可满足红表仪器设备所需红表滤光片的要求
，大大降低了滤光片的成本。

　　硅红表滤光片的热处置工艺
，蕴含硅片的怯注磨、抛光和侵蚀洗濯及热处置用石英炉管的HCl处置
，它的特点在于：1.在炉温低于400℃时
，装入硅片
，2.将炉温升至400-550℃
，保温10-30幼时;而后升温至700-800℃
，保温10-30幼时
，再升温至800-900℃
，保温2-5幼时
，最后升温至900-1000℃
，保温2-5幼时
，3.在炉温降至850℃以下时
，取出硅片。