5.双面抛光法

双面抛光法合用于平行度要求高的薄片,如石英波片、滤光片、平行平面窗等
，行星式双面研磨抛光机使用很宽泛,太多引进国表机床,国内风雷机械厂有这类机床产品. 通常高低抛光模用聚氨酯造作,中央工件隔离圈用聚四氟乙烯薄板或有机玻璃板、PVC板造作,利用工件在分离器孔的地位互换使工件的平行度得到建改,工件的平面性重要是抛光模的概括复印,要求高时仍要做微量建改
，现实上,在二轴机上选取档圈也能够实现双面抛光,不仅能够加工平行平面,还能够加工幼圆柱棒,图九是二轴机双面精磨与抛光示意图。

(三) 、推算机节造抛光与离子抛光

推算机节造抛光(CCP)是利用幼抛光头在工件上作部门抛建活动,边检边建,再过几个循环,使平面达到很高的精度,离子抛光与CCP类似,把幼抛光头换成离子束就成了离子抛光,离子抛光不仅提高了面形精度,并且改善了表表粗糙度.推算机节造抛光在浙江大学、北京理工大学、长春景机所与成都光学工程中心等均先后发展这项钻研工作,后者还从俄罗斯引进了CCP三轴与五轴抛光机,加工出不少高精度平面.离子抛光在国内仍属空缺.图十是浙大CCP尝试装置与俄罗斯国立光学钻研所的推算机上节造抛光机.

图十a.浙江大学试验装置

图十b.俄罗斯国立光学钻研所的推算机节造抛光机

(四) 、单点金刚石飞切光学平面

美国Pam&Pneumo Inc. 出产的MSG-325金刚石车床用飞切步骤加工过ø170mm KDP晶体高精度平行平面,用作倍频器;用飞切步骤香港理工大学、云南光仪厂等单元的Nanoform300也能够实显旖面的飞切.

我国为相识决270X270及310X310mmKDP平面加工问题
，近年引进了俄国NCM-600立式飞切平面机床(图十一)

图十一.NCM-600立式飞切平面机床

加工工件直径可达ø550mm,其工作道理为单点金刚石飞刀高速旋转,形成一个圆的轨迹
，工作的直线活动,使单点包络成一个平面,平面的精度重要取决于机床活动的超精密度.主轴跳动:0.05ｕm
，主轴刚性：200N/um
，导轨的直线性0.1um/250mm,在这个机床上已经加工出ø270KDP平面,透过波面达λ/2(PV)精度,在此基础上我国将起头研造这种机床,技术指标将超过MO-600的水平。

(五) 、棱镜的大批量出产

对于等精度或低精度棱镜的大批量出产通常都是成条加工实现抛光,而后用内圆切割机割开,如棱镜尺寸幼时能够用高速排条锯割开,一次能够同时切割多只棱镜.棱镜的精磨抛光能够用金属夹具上盘,一个夹具能够加工一个面(图十二)或三个面(图十三).

(六)高精度棱镜的加工步骤

高精度棱镜的批量出产通常选取组合光胶法.图十四为用长方体与平行平面光胶板组合光胶加工直角屋脊棱镜屋脊角的例子.

五、光学平面的检测

平面的面形检测除用样板看光圈、菲索过问仪看过问条纹以表出格推荐下列丈量步骤

平面面形急剧丈量法

在立柱式过问仪受骗主光线向上出射时,工件被检面能够在测环上东魏丈量,定位面就是被检面,这样就能够陆续丈量,不必要沉新调整工件地位,如图十五为孝感华光仪器有限公司出产的数字过问仪上丈量平面数字条纹.

图十五a.孝感华光仪器有限公司CQG-II车间数字过问仪(仪器全貌)

图十五b.孝感华光仪器有限公司CQG-II车间数字过问仪(测试汇报)

ø150平面过问仪的数字化

国内最通常的平面过问仪是ø150平面过问仪,光路由上而下,这类仪器只有装上适当附件(PZT扫描仪)很容易实现数字化,图十六为浙江大学与上海星庆光仪公司研造成功并用于出产的 (XQ-15).

图十六.ø150平面数字过问仪

微幼平面的透过玻面畸变丈量

ø4～ø1mm平面的丈量可在CQG-II型过问仪加上4X或8X放大镜就可实现(图十六).

图十六a.微幼平面的透过波面畸变丈量(丈量道理)

特大平面的面形丈量

能够选取过问仪的康蒙步骤来实现
，图十七暗示在过问仪上丈量尺度凹球面,在凹球面光路中45°方向放入被检平面,过问条纹所判读误差为被检平面的面形误差,这就是康蒙步骤在过问仪中的利用。

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